當(dāng)前位置:首頁(yè) >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂?jī)x>HC160精密旋涂?jī)x
簡(jiǎn)要描述:精密旋涂?jī)x:采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹:
名 稱(chēng):精密旋涂?jī)xHC160
型 號(hào):HC160
應(yīng) 用:精密旋涂?jī)x采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮印雽?dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品概述:
HC160精密旋涂機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或?qū)?yīng)的,使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡(jiǎn)單易用。勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
靈巧型勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用,程控操作,且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過(guò)渡艙內(nèi)進(jìn)出,具有優(yōu)異的性?xún)r(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì),進(jìn)行嵌入式安裝,與手套箱進(jìn)行配合。
性能參數(shù):
適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;
旋涂速度:100~12000rpm;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s;
最大旋涂時(shí)間:3000s;旋涂時(shí)間精度:0.1s;
內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計(jì);
具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
電源輸入:AC200-230V;
產(chǎn)品特點(diǎn):
設(shè)計(jì)緊湊,可放置在手套箱內(nèi);
5英寸彩色觸屏控制,人機(jī)界面;
一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔;內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;
高級(jí)PLC全自動(dòng)程序控制,可編程;
帶真空度安全互鎖檢測(cè)功能;帶蓋子安全互鎖檢測(cè)功能;
具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通設(shè)計(jì);具有真空不足提示及保護(hù)功能,具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能。
帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng);
可設(shè)置用戶(hù)密碼保護(hù)功能;
配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;
產(chǎn)品外型尺寸:
358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)
HDPE高分子材料耐腐蝕內(nèi)腔
HDPE高分子內(nèi)腔及載物盤(pán)
產(chǎn)品咨詢(xún)
郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區(qū)建材城中路3號(hào)樓程遠(yuǎn)大廈B座606
官方微信
公司官網(wǎng)